中国刻刀来了!首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉:和EUV光刻机有何区别

8月17日消息,据国内媒体报道,近日,全国首台国产商业电子束光刻机在杭州出炉,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了中国刻刀。 在杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地测试现场,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时...
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